Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов

2-й разряд.
Характеристика работ:

грубое шлифование пластин на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами;
закрепление пластин на шлифовальном столике с помощью наклеечных веществ или на вакуумном столе и снятие их с последующей промывкой;
приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков
Должен знать:

принцип действия обслуживаемого оборудования;
способ подготовки притирного шлифовального диска;
приготовление клеящей мастики и способы ее отмывки;
марки применяемых абразивных материалов;
технологию отмачивания микропорошков
Примеры работ:

1) пластины из ферритов - грубое шлифование на станке или вручную
Примечание:
3-й разряд.
Характеристика работ:

шлифование пластин, изделий на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами до заданных параметров шероховатости и толщины;
замер толщины шлифуемых пластин;
приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков;
наблюдение в процессе работы за исправностью оборудования;
настройка станка на заданный размер, выбор режимов обработки;
предупреждение возникновения брака;
установка и замена шлифовального круга;
правка шлифовальных кругов;
доводка плоскости шлифовальника станка
Должен знать:

устройство, принцип работы, правила эксплуатации и способы подналадки станков и приспособлений для шлифования;
способы наладки оборудования на заданный размер шлифовки;
методы и способы механического и ручного шлифования;
способ подготовки притирного шлифовального диска, изготовление клеящих мастик и способы их отмывки;
марки применяемых абразивных материалов и их основные свойства;
правила пользования измерительным инструментом (микрометры, индикаторные головки и другое);
маркировку шлифовальных кругов, способы правки шлифовального круга;
методику измерения;
требования к чистоте поверхности после шлифования;
механические свойства германия, кремния, арсенида галлия и другое
Примеры работ:

1) лампы титанокерамические - притирка на станке абразивными порошками воротничков сетки;
2) пластины - шлифование с точностью ± 15 мкм
Примечание:
4-й разряд.
Характеристика работ:

шлифование пластин вручную тонкими абразивными порошками
шлифование пластин алмазными кругами, тонкими микропорошками на шлифовальных станках;
полирование пластин с точностью ± 10 мкм на полировальных станках;
приготовление шлифующей и полировальной суспензии из абразивных микропорошков и минеральных масел;
подготовка станков и оснастки для точного шлифования и полирования;
проверка неплоскостности и непараллельности шлифовальника;
контроль и регулирование режимов обработки;
правка алмазного инструмента;
замер торцевого биения шлифовальника;
определение качества обработки;
обнаружение и предупреждение брака.
Должен знать:

устройство, принцип работы и правила эксплуатации применяемого оборудования;
обозначение допусков на чертежах; основные свойства алмазных микропорошков;
свойства полупроводников, определение качества поверхности притирного шлифовального диска;
требования, предъявляемые к шероховатости обрабатываемых пластин;
требования, предъявляемые к геометрической форме обрабатываемых пластин;
методы измерения геометрической формы и шероховатости пластин после шлифования и полирования;
виды и причины брака
Примеры работ:

1) пластины - шлифование абразивными микропорошками М40, М28; полирование микропорошками М5;
2) пластины кремния - чистое шлифование алмазными шлифовальными кругами с отклонением толщины ± 5 мкм
Примечание:
5-й разряд.
Характеристика работ:

шлифование (полирование) пластин пастами, алмазными кругами, тонкими микропорошками с точностью ± 5 мкм;
шлифование (полирование) опытных образцов пластин;
полирование алмазными пастами и микропорошками; химико-механическое полирование пластин окисью кремния, безабразивным составом и окисью циркония на мягком шлифовальнике (замшевом);
подготовка полировального материала, доводка оправки и проверка ее неплоскостности с помощью лекальной линейки; обезжиривание пластин органическими растворителями (бензином);
определение качества обработанной поверхности;
приготовление суспензии из различных порошков, алмазных паст, минеральных масел, органических кислот, бензина;
выбор рациональных режимов обработки;
одновременное обслуживание двух станков
Должен знать:

режим работы оборудования;
способы проверки на точность различных моделей оборудования;
правильную дозировку химических компонентов для химико-механического полирования;
основные физико-механические свойства полупроводниковых материалов;
правила пользования высокоточными контрольно-измерительными приборами;
способы подбора микропорошков для достижения заданных параметров шероховатости поверхности;
правила посадки пластин
Примеры работ:

1) пластины (германий, кремний, арсенид галлия); пластины галлий-гадолиниевого граната - полирование субмикронными алмазными порошками;
2) пластины - шлифование связанными алмазами на станке алмазной шлифовки (САШ-420; СПШ-1; МШ-259)
Примечание:
6-й разряд.
Характеристика работ:

тонкое шлифование (полирование) пластин и особо точных деталей на станках различных типов;
полирование с применением синтетических полировальных материалов, полирование на оптических смолах;
полирование с применением оптического контакта;
обработка режимов шлифования (полирования);
доводка сепараторов на станках двухстороннего шлифования;
выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования
Должен знать:

конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования;
способы установки, крепления и выверки сложных деталей;
методы определения последовательности обработки;
оснастку и подготовку оборудования для полирования пластин на оптических смолах;
способы подготовки смолы к работе;
способы приготовления защитного лака для полирования с применением оптического контакта;
природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах;
виды брака при тонкой обработке и методы их обнаружения и устранения
Примеры работ:
Примечание: