Оператор вакуумно-напылительных процессов

2-й разряд.
Характеристика работ:

напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках;
установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки;
загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций;
замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии
Должен знать:

назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок;
назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними;
назначение процесса откачки;
способы и методы контроля степени вакуума;
режимы испарения и осаждения распыляемого материала
Примеры работ:
Примечание:
3-й разряд.
Характеристика работ:

напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках;
установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки;
загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и другое) на испарители различных конструкций;
замена мишеней на установках магнетронного напыления;
контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа
Должен знать:

устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования;
устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов;
назначение процесса откачки;
режимы испарения и осаждения распыляемого материала;
способы и методы контроля степени вакуума;
основные свойства и характеристики испаряемых материалов;
основные законы электротехники и вакуумной техники
Примеры работ:

1) кристаллические элементы кварцевых резонаторов – напыление;
2) приборы квантовые - напыление трҰхслойных зеркал;
3) подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя;
4) резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску
Примечание:
4-й разряд.
Характеристика работ:

напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением;
обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления;
определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению;
корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса;
регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры;
определение качества напыленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа
Должен знать:

устройство вакуумных установок различных моделей;
кинематику, электрические и вакуумные схемы;
правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования;
устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов;
конструкцию универсальных и специальных приспособлений;
способы отыскания течей;
основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем;
основы физического процесса получения тонких пленок;
основные виды брака и причины его возникновения
Примеры работ:

1) конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния;
2) микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам;
3) микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок
4) пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта;
5) платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь);
6) пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия;
7) приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал;
8) фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.
Примечание:
5-й разряд.
Характеристика работ:

напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации;
обслуживание установок с программным управлением;
наблюдение за режимами процесса;
работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок;
сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону
Должен знать:

электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок;
конструкцию обслуживаемого оборудования;
правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок;
правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов;
электрофизические свойства взаимодействия полупроводник-металл, металл-металл;
основы электротехники и порядок работы вакуумной техники
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:

1) диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление;
2) линзы из стекла К-8 оптической толщины l\4 нанесение одного слоя МgFе2 (просветление);
3) МДП-структуры - изготовление молибденового затвора;
4) пластины С ч Аs - напыление Аg с подслоем Сr;
5) пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий;
6) пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ - транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно или двухслойное напыление различными способами;
7) пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке;
8) пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия;
9) подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины l\4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%);
10) приборы квантовые - напыление cеми-, одиннадцати- слойных зеркал
Примечание:
6-й разряд.
Характеристика работ:

напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов;
самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и так далее);
отработка режимов напыления
Должен знать:

конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур;
методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса;
правила определения режимов получения пленочных микроструктур;
методы контроля параметров пленок;
физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:

1) микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией;
2) пластины кремния различных типов - сплавление с одновременным нанесением алюминия;
3) пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов;
4) покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее;
5) фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем l\2
Примечание:
7-й разряд.
Характеристика работ:

напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью;
напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов;
составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ;
замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла;
определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой;
отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров;
сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка;
отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации;
оценка качества высокого вакуума
Должен знать:

устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума;
наладку и настройку контрольно-измерительных приборов;
способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки;
влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
Примечание: