Оператор диффузионных процессов
- Раздел ЕТКС
2-й разряд.
Характеристика работ:
ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации);
окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды;
загрузка и выгрузка пластин кремния;
измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар;
изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии;
вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний;
взвешивание диффузанта и его загрузка
ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации);
окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды;
загрузка и выгрузка пластин кремния;
измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар;
изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии;
вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний;
взвешивание диффузанта и его загрузка
Должен знать:
наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления;
назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров;
методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей;
основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения);
основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов);
принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом
наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления;
назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров;
методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей;
основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения);
основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов);
принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом
Примеры работ:
1) пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией;
2) пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа;
3) подложки - насыщение бором
1) пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией;
2) пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа;
3) подложки - насыщение бором
Примечание:
3-й разряд.
Характеристика работ:
ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа;
измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин;
изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей;
контроль режима диффузионного процесса;
загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика;
контроль качества пластин после диффузии и окисления;
комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур
ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа;
измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин;
изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей;
контроль режима диффузионного процесса;
загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика;
контроль качества пластин после диффузии и окисления;
комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур
Должен знать:
устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок;
методы измерения температуры в рабочей зоне установки;
степени осушки газа;
свойства газов, применяемых материалов;
основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ;
влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев;
устройство приборов для контроля процесса;
методы измерения поверхностного сопротивления;
методы контроля толщины дрейфовой области
устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок;
методы измерения температуры в рабочей зоне установки;
степени осушки газа;
свойства газов, применяемых материалов;
основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ;
влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев;
устройство приборов для контроля процесса;
методы измерения поверхностного сопротивления;
методы контроля толщины дрейфовой области
Примеры работ:
1) биффузия золота;
2) стекло боросиликатное - диффузия бора;
3) стекла растворимые - диффузия сурьмы;
4) структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SI 02 с одновременной диффузией никеля
1) биффузия золота;
2) стекло боросиликатное - диффузия бора;
3) стекла растворимые - диффузия сурьмы;
4) структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SI 02 с одновременной диффузией никеля
Примечание:
4-й разряд.
Характеристика работ:
окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
отжиг ионно-легированных слоев;
ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния;
одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии;
дозирование легирующих элементов;
подготовка газораспределительного пульта к работе;
сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах);
наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их;
определение неисправностей в работе оборудования;
измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем
окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
отжиг ионно-легированных слоев;
ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния;
одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии;
дозирование легирующих элементов;
подготовка газораспределительного пульта к работе;
сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах);
наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их;
определение неисправностей в работе оборудования;
измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем
Должен знать:
устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;
устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и другое);
методы измерения температурного профиля диффузионной печи;
основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний);
свойства газов (водород, азот, кислород);
основные свойства диффузантов;
режимы процесса;
способы и методы контроля;
элементарный расчет параметров диффузионных слоев;
основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов;
методы их получения и контроля
устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;
устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и другое);
методы измерения температурного профиля диффузионной печи;
основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний);
свойства газов (водород, азот, кислород);
основные свойства диффузантов;
режимы процесса;
способы и методы контроля;
элементарный расчет параметров диффузионных слоев;
основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов;
методы их получения и контроля
Примеры работ:
1) диффузия мышьяка, сурьмы;
2) диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок;
3) диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора;
4) диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса);
5) кремний - окисление в парах НСL;
6) пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12
1) диффузия мышьяка, сурьмы;
2) диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок;
3) диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора;
4) диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса);
5) кремний - окисление в парах НСL;
6) пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12
Примечание:
5-й разряд.
Характеристика работ:
ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
составление программ проведения процесса;
введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия;
обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок;
измерение электро-параметров БИС, СБИС и транзисторных структур;
проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев;
анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок;
контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев;
сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры;
сборка газовой системы и проверка ее герметичности;
определение неисправностей в работе оборудования и их устранение
ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
составление программ проведения процесса;
введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия;
обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок;
измерение электро-параметров БИС, СБИС и транзисторных структур;
проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев;
анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок;
контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев;
сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры;
сборка газовой системы и проверка ее герметичности;
определение неисправностей в работе оборудования и их устранение
Должен знать:
электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим;
правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса;
очистительную систему для газов, поступающих в установку;
правила определения режимов работы;
влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов
Требуется среднее профессиональное образование.
электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим;
правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса;
очистительную систему для газов, поступающих в установку;
правила определения режимов работы;
влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
1) диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения;
2) пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15;
3) пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением;
4) пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров
1) диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения;
2) пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15;
3) пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением;
4) пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров
Примечание:
6-й разряд.
Характеристика работ:
ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
обслуживание печей и установок любого типа, в том числе и с программным управлением;
обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным;
проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев;
самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС;
расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси;
работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль
ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов;
обслуживание печей и установок любого типа, в том числе и с программным управлением;
обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным;
проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев;
самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС;
расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси;
работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль
Должен знать:
конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различные типов для проведения процесса диффузии;
теорию процессов диффузии и окисления;
влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев;
способы и методы определения годности переходов;
физико-химические свойства применяемых материалов;
расчеты, связанные с проведением процессов диффузии
Требуется среднее профессиональное образование.
конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различные типов для проведения процесса диффузии;
теорию процессов диффузии и окисления;
влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев;
способы и методы определения годности переходов;
физико-химические свойства применяемых материалов;
расчеты, связанные с проведением процессов диффузии
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
Примечание:
7-й разряд.
Характеристика работ:
ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии из опытном оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов;
ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом;
расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси;
одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии;
выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований к нему;
получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56;
сбор и обработка информации с помощью компьютера;
анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению
ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии из опытном оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов;
ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом;
расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси;
одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии;
выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований к нему;
получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56;
сбор и обработка информации с помощью компьютера;
анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению
Должен знать:
устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, «Suzfsсan», ЛЭФ-ЗМ);
назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним;
факторы, определяющие скорость роста окислов;
механизмы диффузии в полупроводниках;
виды брака из термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
способы получения р-п переходов и методы определения их годности
Требуется среднее профессиональное образование.
устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, «Suzfsсan», ЛЭФ-ЗМ);
назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним;
факторы, определяющие скорость роста окислов;
механизмы диффузии в полупроводниках;
виды брака из термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
способы получения р-п переходов и методы определения их годности
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ:
1) изолирующий окисел - пирогенное окисление;
2) диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора
1) изолирующий окисел - пирогенное окисление;
2) диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора
Примечание: